湖北朗馳 反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂漿是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。湖北朗馳 懸臂漿 性能穩(wěn)定,在高溫環(huán)境不變形,晶圓裝載量大,適用于機(jī)器人自動裝載和搬運系統(tǒng),由于 湖北朗馳 懸臂漿截面穩(wěn)定不變形,使得利用現(xiàn)有的爐管制備更大規(guī)格圓晶成為可能。湖北朗馳懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數(shù)相近,應(yīng)用于LPCVD,極大的延長了維護(hù)清洗周期,并大幅減少污染物