在生產(chǎn)工藝中使用工藝氣體時(shí),可能會(huì)在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生煙氣和泄露。這使得在生產(chǎn)過(guò)程和工藝技術(shù)中趨向于使用帶氣體的閉環(huán)系統(tǒng)。設(shè)備節(jié)省的費(fèi)用可在短期內(nèi)收回設(shè)備投資成本。
如:


★惰性氣體,例如氙氣、氬氣或氦氣;

★電力系統(tǒng)SF6(六氟化硫)氣體;
★大型壓縮系統(tǒng)天然氣的泄漏;
★惰性氣體加工提純氮?dú)猓?br /> ★從超臨界CO2工藝中提取二氧化碳
★在加工過(guò)程中累積的泄漏氣體,例如CO一氧化碳
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