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凈化單元
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凈化柱
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功能：氣體密封，除水、除氧
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容器材料：304不銹鋼
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凈化材料：銅觸媒5kg、分子篩5kg
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凈化能力：除氧60L、除水2kg
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水氧指標(biāo)：＜1ppm
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循環(huán)系統(tǒng)
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工作氣體：氮?dú)?、氬氣、氦?
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循環(huán)能力：集成風(fēng)機(jī)流量90m3/h（可提供更大風(fēng)機(jī)流量145m3/h、180m3/h）
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再生
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操作：PLC自動(dòng)控制再生過(guò)程
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再生氣體：工作氣體與氫氣混合氣體（氫氣5%- 10%）
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真空泵
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規(guī)格：8m3/h或12m3/h
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旋片泵：帶油霧過(guò)濾器，氣振控制
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閥門(mén)
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主閥：DN40KF，電氣動(dòng)角閥
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控制閥：電磁集成閥
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過(guò)渡倉(cāng)
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大過(guò)渡倉(cāng)
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倉(cāng)體
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尺寸：直徑360mm，長(zhǎng)度600mm（可選直徑400mm）
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材料：304不銹鋼
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表面：內(nèi)表面為油膜拉絲面，外表面為噴漆或鏡面
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附件
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托盤(pán)：滑動(dòng)托盤(pán)
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倉(cāng)門(mén)：雙門(mén)，陽(yáng)極氧化鋁材料，厚度10mm豎直操作，帶提升結(jié)構(gòu)
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壓力表：模擬顯示
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控制
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操作：自動(dòng)控制
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小過(guò)渡倉(cāng)
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倉(cāng)體
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尺寸：直徑150mm，長(zhǎng)度300mm（可選直徑100mm）
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材料：304不銹鋼
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表面：內(nèi)表面為油膜拉絲面，外表面為噴漆或鏡面
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附件
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倉(cāng)門(mén)：雙門(mén)
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壓力表：模擬顯示
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控制
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操作：手動(dòng)操作
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控制系統(tǒng)
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描述
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顯示：西門(mén)子PLC觸摸屏
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功能：包括自診斷、斷電自啟動(dòng)特性，具有壓力控制和自適應(yīng)功能，自動(dòng)控制、循環(huán)控制、密碼保護(hù)
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壓力控制：控制箱體、過(guò)渡艙的壓力，箱體工作壓力+/- 10mbar內(nèi)可以自由設(shè)定，超出+/- 12mbar系統(tǒng)自動(dòng)保護(hù)
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腳踏開(kāi)關(guān)：箱內(nèi)氣壓可通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)調(diào)整
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數(shù)據(jù)備忘錄：自動(dòng)記錄系統(tǒng)數(shù)據(jù)
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配件
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真空泵
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氧分析儀
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測(cè)量范圍： 0～1000ppm
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露點(diǎn)分析儀
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測(cè)量范圍：0～500ppm
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